ASTM F1617-1998(2002) 用次级离子质谱测定法(SIMS)测定表面钠,铝,钾-硅和EPI衬底的标准试验方法
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时间:2024-05-06 19:43:21
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringSurfaceSodium,Aluminum,Potassium,andIrononSiliconandEPISubstratesbySecondaryIonMassSpectrometry
【原文标准名称】:用次级离子质谱测定法(SIMS)测定表面钠,铝,钾-硅和EPI衬底的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1617-1998(2002)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:质谱学;金属材料;光谱测定法;试验方法
【英文主题词】:aluminum;iron;potassium;silicon;SIMS;sodium;surfacecontamination
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthedeterminationoftotalsodium,aluminum,potassium,andirononthesurfaceofmirror-polishedsinglecrystalsiliconandsiliconepisubstratesusings
【中国标准分类号】:H12
【国际标准分类号】:77_040_30
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:用次级离子质谱测定法(SIMS)测定表面钠,铝,钾-硅和EPI衬底的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1617-1998(2002)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:质谱学;金属材料;光谱测定法;试验方法
【英文主题词】:aluminum;iron;potassium;silicon;SIMS;sodium;surfacecontamination
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthedeterminationoftotalsodium,aluminum,potassium,andirononthesurfaceofmirror-polishedsinglecrystalsiliconandsiliconepisubstratesusings
【中国标准分类号】:H12
【国际标准分类号】:77_040_30
【页数】:5P.;A4
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